納米級氣浮檢測平台,超精密微型直線電機,超高精度納米定位平台_深圳市AG尊龙凯时精密科技有限公司納米級氣浮平台,訂製大理石平台,超高精度納米定位平台

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納米級氣浮檢測平台

氣浮平台採用高阻尼、高剛性(氣浮剛度可達150N/μm)氣浮模塊，氣浮面為陶瓷及天然大理石（極小的變形量及膨脹係數）。運用源採用直驅電機，極佳的速度鏈波，能有效抑制外界對氣浮平台的干擾。

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