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半導體晶圓傳送設備

氣浮平台採用高阻尼、高剛性(氣浮剛度可達 150N/um) 氣浮模塊，氣浮面材質為陶瓷及天然大理石(極小的變形量及膨脹係數)。動力源採用直驅電機，極佳的速度鏈波，能有效抑制外界對氣浮平台的干擾。

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