EFEM晶圓檢測平台
產品特色
天然花崗岩直線電機平台，的速度波動，靜音運行
亞微米級定位精度、重複定位精度
條碼、標籤及字元辨識，完整追蹤生產歷程。
提供即時影像監控。
高效淨化及靜電消除等微環境控制，確保傳送過程中不受污染。
自動壓力控制系統可以通過環境壓力變化，調節風扇轉速以保持設定值。
提供客制化晶圓或其它基板搬運需求。
產品用途： |
●載物台懸浮狀態 ●無接觸無摩擦 ●懸浮直線電機驅動 ●優異的速度鏈波 ●納米級定位、重複定位精度 ●直線度可達1μm | ●無導軌 ●無油污 ●無需維護 ●客制整機系統 ●非標定製 ●機電控制一站式服務 | ●晶圓切割 ●晶圓及半導體檢測 ●玻璃薄片檢測 ●晶圓劃線 ●晶片堆疊 | ·OLED加工 ●CCD成像 ●螢幕檢測 ●三維形貌等高端製造行業 |
電話：0755-86339733，18998923123 ，18998923112 地址：深圳市龍華區觀瀾街道鴻信工業園4棟 網址：www.fshaodong.com
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